반도체 오염입자 실시간으로 가려 낸다

[앵커]
반도체, 디스플레이 산업의 경우 대부분 공정 이후 불량 검사를 하지만 공정 중에 미리 불량 여부를 진단할 수 있다면 경제성을 훨씬 높일 수 있습니다.

국내 연구진이 개발한 '반도체 공정 오염원 실시간 추적 기술'이 중소기업에 기술 이전돼 상용화에 성공했습니다.

이정우 기자입니다.

[기자]
머리카락 두께의 십만 분의 일 크기의 나노입자.

반도체와 디스플레이 소자 개발에 활용되지만 동시에 소자를 오염시켜 불량품의 원인이 됩니다.

따라서 나노입자로 인한 오염을 감지하기 위해서는 나노입자의 특성 분석이 꼭 필요합니다.

한국표준과학연구원 강상우 박사팀과 성균관대 김태성 교수팀이 공동 개발한 반도체 오염입자 실시간 모니터링 기술이 상용화에 성공했습니다.

[강상우 / 표준과학연구원 대외협력실장 : 반도체 디스플레이에서 발생하는 오염입자를 실시간으로 분석하는 장비가 되겠습니다. 이 장비를 활용하게 되면 생산성과 수율을 극대화 시킬 수 있는 효과가 있습니다.]

진공 공간에서 떠다니는 나노미터 영역의 오염 입자 형상과 성분 등 다양한 특성을 실시간으로 분석해 불량 여부를 미리 진단할 수 있는 기술입니다.

반도체 오염 입자를 실시간으로 분석할 수 있는 이 장치는 산학연 융합기술로 상용화에 성공한 사례로 꼽히고 있습니다.

오염입자 측정 분석장비는 국내 전문업체에 기술 이전돼 2년 만에 상용화에 성공해 국내 대기업에 판매를 시작했습니다.

[이준희 / 기술 상용화 기업 대표 : 이런 기술들이 개발돼서 바로 진행할 수 있다는 건 굉장히 큰 의미가 있고요. 통상적으로 어떤 모니터링 하는 장비들이 대당 5천만 원 정도 합니다.]

고집적화·대면적화로 성장하는 반도체, 디스플레이 산업에서 불량 감지와 오염원을 추적하기 위한 최적의 해결책을 제공할 것으로 보입니다.

[김태성 / 성균관대 기계공학부 교수 : 반도체 기술이 이제 거의 포화상태에 왔다고 많이 얘기를 하는데 이제 그 상태에서도 조금 더 발전되는 발전되게 하는 데 도움을 줄 수 있을 것으로 생각합니다.]

수천억 원의 산업적, 경제적 효과가 예상되는 이 기술은 반도체, 디스플레이산업뿐만 아니라 나노입자와 진공 관련 업계 생산성 향상에 도움을 줄 것으로 기대됩니다.

YTN 이정우[ljwwow@ytn.co.kr]입니다.