'길이 측정' 정확도 10배 높인다

[앵커]
반도체와 LCD 등 산업 현장에서 길이를 잴 때 레이저 간섭계가 꼭 필요합니다.

국내 연구진이 길이 측정장비인 레이저 간섭계의 측정 정확도를 10배 높일 수 있는 정밀 교정시스템을 개발했습니다.

이정우 기자입니다.

[기자]
반도체나 LCD, 조선과 항공 분야에서 길이를 잴 때 사용하는 레이저 간섭계.

파장이 일정하도록 안정화된 레이저의 간섭을 이용해 길이를 정밀하게 측정하는 장치로 길이표준 분야에서 최고의 측정기입니다.

문제는 생산품의 크고 작은 결함을 없애기 위해서는 정확한 레이저 간섭계가 필요하지만, 온도와 압력, 습도 등 환경 요인에 의해 오차가 발생하고 있습니다.

레이저 간섭계의 측정오차는 레이저의 주파수를 교정해 사용했으나 앞으로는 실거리 측정을 통해 정밀한 오차교정이 가능하게 됐습니다.

[엄태봉 / 표준과학연구원 길이센터 : 레이저 간섭계와 외부에서 들어오는 피 교정 레이저 간섭계의 실제 거리를 상호 비교함으로써 레이저 간섭계가 가지고 있는 거리 측정 능력을 정확하게 평가할 수 있습니다.]

반도체 미세 가공기술 장비와 같은 초정밀 시스템의 변위 측정 센서로 널리 사용되는 레이저 간섭계는 공기 온도 섭씨 1도 차이에서 1m마다 약 1㎛의 오차가 발생합니다.

이를 위해 고도화된 환경인자 센서가 내재 된 레이저 간섭계를 개발했습니다.

산업현장 레이저 간섭계 교정시스템은 최대 50m까지 측정이 가능한 게 가장 큰 장점입니다.

이동 범위가 2m에서 50m인 이동장치 위에 기준 간섭계와 교정이 필요한 간섭계를 설치하고 거리를 변경하면서 양쪽 간섭계가 측정한 실거리 값을 비교해 오차를 알아낼 수 있습니다.

[엄태봉 / 표준과학연구원 길이센터 : 실제 저희가 교정해 준 값을 이용해서 보정을 해서 사용하면 기존에 사용했던 것보다 10배 이상의 측정 정확도를 얻을 수가 있습니다.]

레이저 간섭계 교정 시스템은 측정 정확도를 높임으로써 가공의 정확도를 높여 생산 효율성과 안전성을 끌어 올릴 것으로 기대됩니다.

YTN 이정우[ljwwow@ytn.co.kr]입니다.